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国家金属薄膜功能材料工程技术研究中心
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国家金属薄膜功能材料工程技术研究中心依托于中国科学院上海冶金研究所。该所建立于1982年，是一个长期从事材料科学的综合性应用研究所。功能材料与器件是该所的主要研究方向，已取得了一批高科技成果，并建立了一批国家及院的重点开放实验室，如国家传感器实验室，国家信息功能材料实验室，离子束开放实验室等。
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磁膜测试用振动样品磁强计 |
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MW FT型薄膜铂电阻温度传感器产品 |
中心主要从事金属薄膜的新型成膜技术及与此相关的器件精细加工工艺的研究开发，加快金属薄膜功能材料及器件的产业化。中心将针对行业发展需要，以市场为导向，与产业部门密切合作，及时向相关企业转移技术，以满足我国仪器仪表工业、高新技术产业发展的需要。 |
| 中心拥有先进的度膜、复膜、精密加工装置和成熟的制膜、微细加工技术。中心近期将着力开发电阻、电热用金属薄膜及器件，磁性薄膜，并相应建立了中试生产线。
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自行设计的溅射制膜装置 |
